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离子源电源

离子源电源
离子源电源

离子源电源

应用领域:

1.利用离子源进行表面处理,适用于真空镀膜前清洗或镀膜过程辅助沉积

2.适合于多元化的研究和产品运用。

主要特点 型号参数 应用领域
01

电源效率

电源效率≥90%

02

提升离化率

提升气体离化率及活化度,与金属离子高效结合

03

电压电流

电压电流调整范围大,稳定性高

04

抑弧功能

强大的抑弧功能,有效抑制异常放电

型号参数

项目型号
DI-10DI-20DI-30DI系列电源
输入电压三相交流380V ±10%,50~60 Hz
输出频率10KW20KW30KW10KW-100KW可定制
常规工作电流2A-10A3A-20A4A-30A2A-100A可定制
常规工作电压100V~1000V
工作电流2A-12.5A3A-25A4A-37.5A
工作电压100V-800V(空载电压>800V)
工作方式恒压、恒流、恒功率
输出频率40kHz~80kHz
占空比80%
调节精度≤1%
工作效率≥90%
响应时间<500ns
通讯方式RS485、光纤等通讯端口,MODBUS通讯协议
冷却方式风冷+水冷
尺寸(mm)710(D)×435(W)×225(H)710(D)×435(W)×225(H)
810(D)×435(W)×280(H)
安全防护过流、过压、短路、过热保护,接地保护,漏电保护

应用领域

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